Sensirion SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/-Meter
Die SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/Messgeräte von Sensirion sind digitale®-basierte Multi-gas-CMOSens-Bauteile, die den Gasmassenstrom nach dem kalorimetrischen Prinzip basierend auf der Wärmeübertragung messen. Die Regler/Meter zeichnen sich durch unübertroffene Einstufungen bei Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu einem sehr attraktiven Preis-Leistungsverhältnis aus. Ein Heizelement auf einer thermisch isolierten Membran und zwei Thermosäulen, die flussaufwärts und flussabwärts aufgebracht sind, sind auf einem einzelnen Siliziumchip integriert. Bei einem Gasfluss wird die Temperaturverteilung flussaufwärts und flussabwärts unterbrochen. Diese Asymmetrie wird dann gemessen. Ein größeres Kanaldesign macht das Bauelement robuster gegen Partikel, Verstopfung und befeuchtete Gase. Aufgrund des kompakten Einzelchip-Designs und der Montage zwischen Metallteilen sind CMOSens®-basierte Sensoren auch sehr widerstandsfähig gegen elektromagnetische Störungen (EMV).
Ein vollständig kompensierter Durchflussmesswert kann jede Millisekunde mit Verstärkung, A/D-Umwandlung, digitaler Linearisierung und Temperaturkompensation geliefert werden, die an die Sensorgeschwindigkeit angepasst sind. Die SFC5500 Massenflussregler zeichnen sich durch eine Nullpunktdrift-Leistung aus und regeln den echten Massenfluss unabhängig von der Umgebungstemperatur und Druckänderungen. Eine spezielle Anordnung der beiden Temperatursensoren, der On-Chip-Temperaturausgleich und die Reduzierung von Rauschquellen führen zu einer unschlagbaren Leistung in Bezug auf die Wiederholbarkeit und Genauigkeit über einen großen Dynamikbereich.
Merkmale
- Hervorragende Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit (0,8 % bzw. 0,1 % des Sollwerts)
- Sehr hoher Regelbereich (besser als 1000:1)
- Kompatibel mit G ¼″-Flansch, mit einer breiten Palette von Anschlüssen (z. B. Swagelok, Legris, Festo)
- Für mehrere Gase kalibriert (Luft, N2, O2, H2, He, CH4, N2O, Ar, CO2)
- Ultra-schnelle Einschwingzeit (< 100 ms)
- Digitale Schnittstelle mit temperaturkompensiertem Ausgang
- Rückführbare Kalibrierung gemäß NIST
- Mittlere Betriebsdauer zwischen Ausfällen (MTBF): 169 Jahre
- Keine Driftprobleme und kein Nachkalibrieren vor Ort erforderlich
Technische Daten
- Typische Einschwingzeit: < 100 ms
- Messfrequenz: 1.000 Hz
- Regelbereich besser als 1.000:1
- Aufwärmzeit: 1 s
- Umgebungs-Betriebstemperaturbereich: 0 bis +50 °C (+32 °F bis +122 °F)
- Maximaler Eingangsdruck: 10 bar/145 psig
- Maximaler Differenzdruck: 5 bar/73 psig
Videos
Blockdiagramm
Weitere Ressourcen
- Gaschromatographie: Echtzeit-Überwachung und -Steuerung für optimale Lösungen
- Kurzanleitung
- Applikationshinweis: SHDLC-Kommunikationsschnittstellen-Referenz für die SFC5500 Massenflussregler
- Applikationshinweis: Austauschbare Anschlüsse für die SFC5500 Massenflussregler
- Dünnfilm-Ablage
- Gaschromatographie
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