SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/-Meter

Die SFC5500/SFM5500 Massenflussregler/Messgeräte von Sensirion sind digitale®-basierte Multi-gas-CMOSens-Bauteile, die den Gasmassenstrom nach dem kalorimetrischen Prinzip basierend auf der Wärmeübertragung messen. Die Regler/Meter zeichnen sich durch unübertroffene Einstufungen bei Geschwindigkeit, Genauigkeit und Wiederholgenauigkeit zu einem sehr attraktiven Preis-Leistungsverhältnis aus. Ein Heizelement auf einer thermisch isolierten Membran und zwei Thermosäulen, die flussaufwärts und flussabwärts aufgebracht sind, sind auf einem einzelnen Siliziumchip integriert. Bei einem Gasfluss wird die Temperaturverteilung flussaufwärts und flussabwärts unterbrochen. Diese Asymmetrie wird dann gemessen. Ein größeres Kanaldesign macht das Bauelement robuster gegen Partikel, Verstopfung und befeuchtete Gase. Aufgrund des kompakten Einzelchip-Designs und der Montage zwischen Metallteilen sind CMOSens®-basierte Sensoren auch sehr widerstandsfähig gegen elektromagnetische Störungen (EMV).

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Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Control range: 2 slm - 0.002 slm.
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9Auf Lager
10erwartet ab 20.05.2026
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Mass Flow Controller Flow Meter Gases 2 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Control range: 50 sccm - 0.05 sccm.
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2Auf Lager
4erwartet ab 18.06.2026
Min.: 1
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Mass Flow Controller Flow Meter Gases 50 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 0.5 slm - 0.0005 slm.
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4Auf Lager
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Mass Flow Meter Flow Meter Gases 0.5 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 2 slm - 0.002 slm.
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2Auf Lager
Min.: 1
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Mass Flow Meter Flow Meter Gases 2 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 50 sccm - 0.05 sccm.
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6Auf Lager
Min.: 1
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Mass Flow Meter Flow Meter Gases 50 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 0.5 slm - 0.0005 slm.
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11Auf Lager
16erwartet ab 13.05.2026
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Mass Flow Controller Flow Meter Gases 0.5 slm to 0.0005 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 200 slm - 0.2 slm
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10Auf Lager
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Mass Flow Controller Flow Meter Gases 200 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Meter with exchangeable connectors (6 mm Legris included). Measurement range: 10 slm - 0.01 slm.
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1Auf Lager
2erwartet ab 29.04.2026
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Mass Flow Meter Flow Meter Gases 10 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum
Sensirion Durchflusssensoren Digital Multigas Mass Flow Controller Control range: 10 slm - 0.01 slm.
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3erwartet ab 20.05.2026
Min.: 1
Mult.: 1

Mass Flow Controller Flow Meter Gases 10 slm to 0.01 slm 0.8 % Bidirectional 15 V to 26.4 V Aluminum