STMicroelectronics LPS25H MEMS Drucksensor

Der STMicroelectronics LPS25H MEMS-Drucksensor ist ein äußerst kompakter absoluter piezoresistiver Drucksensor. Er umfasst ein monolithisches Sensorelement und eine IC-Schnittstelle, die in der Lage ist, die Informationen vom Sensorelement aufzunehmen und ein digitales Signal nach außen zu senden. Das Sensorelement besteht aus einer aufgehängten Membran, die in Mono-Siliziumsubstrat sitzt. Es kann den absoluten Druck erfassen und wird mit einem spezifisch dafür von ST entwickelten Prozess hergestellt. Die Membran ist im Vergleich zu den herkömmlich Silizium-mikromaschinell hergestellten Membranen sehr klein. Eine Bruchstelle der Membran wird durch eigenleitende mechanische Stopper verhindert. Die IC-Schnittstelle wird unter Verwendung eines Standard-CMOS-Prozesses hergestellt, der eine hohe Stufe an Integration bietet, um einen dafür bestimmten getrimmten Stromkreis zu gestalten, der besser zu den Eigenschaften der Sensorelemente passt.